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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體電子設(shè)備硅片甩干機LCS系列全自動硅片甩干機廠家
產(chǎn)品簡介
全自動硅片甩干機LCS系列立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機本機是主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié)，具有容量大、效率高的特點。
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全自動硅片甩干機是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中的高精密設(shè)備，主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過自動化的流程，能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物，確保硅片的清潔度和干燥度，從而滿足后續(xù)工藝的要求。
主要特點：
1.彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單
2.腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼，電化學(xué)拋光處理
3.去離子水電阻率監(jiān)控功能
4.無刷電機驅(qū)動
5.氮氣溫度控制
6.轉(zhuǎn)軸氮氣密封
7.具有鎖蓋防護功能
8.故障診斷、顯示、報警功能
9.可提用戶特殊要求配置
全自動硅片甩干機采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能，能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設(shè)備設(shè)計可以適應(yīng)不同直徑的硅片，包括方形和其他特殊形狀的材料。
設(shè)備采用全自動控制，包括去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥，實現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動化處理。具備多項技術(shù)性能指標(biāo)，如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等，確保操作的安全性和穩(wěn)定性
包括使用氮氣和去離子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求，如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制，實現(xiàn)整個過程的智能化，具有故障實時顯示和報警功能。設(shè)備設(shè)計考慮了節(jié)能和效率，如整個甩干過程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼，并進行電化學(xué)拋光處理，以提高設(shè)備的耐用性和清潔度。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)過精密動平衡處理，保證工作時的平衡性，并采用特種減振器以實現(xiàn)精密減振和阻尼。
設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模，滿足不同應(yīng)用需求。
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