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當前位置:首頁技術文章硅片甩干機的工作特點

硅片甩干機的工作特點

更新時間:2016-08-18點擊次數:2910
   硅片甩干機用于清洗太陽能硅片和半導體硅片,是濕法清洗工藝的主要設備,目前主要機型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作過程為噴淋旋轉沖洗+離心甩干+氮氣加熱烘干,工作特點如下:
  1、硅片甩干機整個甩干過程一般只需要5-6分鐘;
  2、設備的外露面為進口的PP板,外形美觀,耐酸氣腐蝕;
  3、工作腔,旋轉支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并且表面電化學拋光處理;
  4、旋轉機構經過精密動平衡處理,保證工作時的平衡性;
  5、采用特種減震器,精密減震和阻尼,保證系統的穩定;
  6、硅片甩干機采用潔凈化處理技術,閥門,接頭和管道采用不銹鋼,PEA高純管件和聚四氟;
  7、采用油壓缸自動開門關門,平穩安全可靠;
  8、采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮氣,熱量足,溫度穩定,加熱溫度實時監控,并顯示在液晶屏上,并有雙重安全保護;
  9、特制噴頭和氣液流體控制系統,全自動切換;
  10、頂蓋采用電加熱板輔助加熱,保證頂蓋烘干后不滴水;
  11、硅片甩干機的工作腔采用靜電控制。

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